教員プロフィール：福島 誉史 准教授
教員プロフィール
◎大学院工学研究科 機械機能創成専攻
福島 誉史 准教授
FUKUSHIMA, Takafumi
◎研究キーワード
半導体実装工学 マイクロナノ加工 フレキシブルデバイス 自己組織化技術 機能性高分子材料
◎研究内容
機械工学、材料工学、電気電子工学を横断する半導体実装工学を基軸とし、半導体デバイスシステム全体を俯瞰したホリスティック・システム・インテグレ―ションを研究の対象としている。特に高性能で高い集積度を有するフレキシブルデバイスや立体的な人工知能チップなどに焦点を当て、自己組織化技術を駆使した微細配線の形成（インターコネクト）や微小素子の高精度位置合わせと接着／接合（アセンブリ）を中心としたデバイス作製技術の研究開発行いながら、全体論的な半導体実装工学の体系化と深化に取りくんでいる。
◎産学連携の可能性
チップレット／三次元実装／3D-IC／TSV／接合などに関する材料、プロセス、TEG作製、試作、装置開発に関する研究
◎代表的研究成果
T. Fukushima and S. S. Iyer, IEEE Trans. CPMT, 8 (2018), 1738-1746
T. Fukushima et al., J. Polym. Sci., 58 (2020), 2248–2258.
T. Fukushima et al., IEEE Trans. Electron Devices, 64, (2017), 2912–2918.
更新日：2023/05/01
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