教員プロフィール：鷲尾 勝由 教授
教員プロフィール
◎研究キーワード
半導体デバイス 薄膜成長 機能性薄膜
◎研究内容
新しい機能性材料を創ることを目的として、量子効果を生じる結晶、多くの機能を併せ持つ薄膜、結晶構造が異なる系での新奇なヘテロ成長技術の開発を行っている。研究対象には、エピタキシャル成長界面の構造操作による量子ドットや2次元シート、遷移金属添加や疑似アモルファス化を用いた高配向酸化物結晶薄膜、抗菌性無機コーティング酸化物、レアアースフリー蛍光薄膜などの薄膜材料を含み、それらから生まれるシナジー効果を発揮するよう取り組んでいる。
◎産学連携の可能性
◎代表的研究成果
Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio, "Control of growth modes by carbon mediation in formation of Ge quantum dots on Si(100)", IEEE T. Nanotechnol. 16(4) (2017) 595-599.
H. Chiba, T. Mori, T. Kawashima, K. Washio, "Low-Temperature Heteroepitaxial Growth of Single-Domain V-Doped ZnO Films on c-Face Sapphire", J. Electron. Mater. 44 (2015) 1351-1356.
更新日：2021/10/08
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