教員プロフィール：高 偉 教授
教員プロフィール
◎研究キーワード
精密計測 ナノ計測 センサとアクチュエータ 精密位置決め 加工機上計測
◎研究内容
精密加工品の形状及び精密機械の運動を必要な精度で計測するという精密ものづくり計測の研究に取り込んでいる．主な研究内容：１）精密ものづくり計測の基本道具となる高精度かつコンパクトな多軸変位，角度センサの開発，２）マイクロギア，マイクロ工具，大面積微細表面など各種マイクロ加工品形状の超精密測定システムの開発，３）精密インプロセス加工計測システムと超精密加工機診断システムの開発，４）超短パルスレーザと光周波数コムを用いた次世代超精密光計測システムの開発
◎産学連携の可能性
精密加工品の形状と寸法計測
◎代表的研究成果
Wei Gao, Precision Nanometrology, Springer, ISBN 978-1849962537, (2010)
Wei Gao, Surface Metrology for Micro and Nano-fabrication, Elsevier, ISBN: 978-0128178508, (2020)
Wei Gao, Yuki Shimizu, Optical Metrology for Precision Engineering, De Gruyter, ISBN: 978-311054109, (2021)
更新日：2021/10/10
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