教員プロフィール:ベルガラ プルガル アンドレア 助教

 

教員プロフィール

◎大学院工学研究科 ロボティクス専攻
Vergara Pulgar, Andrea
◎研究キーワード
MEMS PZT actuator Piezoresistive sensor Feedback control
◎研究内容
Enhancement of PZT-based MEMS actuators long-term reliability and position precision by the integration of Silicon piezoresistive sensors, through the implementation of a feedback control system. This research will enable wider use of high performance piezoelectric devices in new applications such as micromirrors, tunable lenses, etc., which are deemed key devices for IoT and AR/VR technologies.
◎産学連携の可能性
Semiconductors, Electronic components
◎代表的研究成果
A. Vergara, T. Tsukamoto, W. Fang and S. Tanaka, Sens. Actuators A, 332 (2021), 113131
A. Vergara, T. Tsukamoto, W. Fang and S. Tanaka, J. Micromech. Microeng., 30 (2020), 115020
更新日:2021/10/15
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研究

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