教員プロフィール:丸山 伸伍 准教授

 

教員プロフィール

◎大学院工学研究科 応用化学専攻
MARUYAMA, Shingo
◎研究キーワード
真空薄膜プロセス イオン液体 有機半導体 in situ観察 ハイスループット実験
◎研究内容
液体や液晶、有機半導体などのソフトな材料を対象として、赤外レーザを用いた新しい真空蒸着プロセスの開発と薄膜結晶成長を研究してきた。特に、イオン伝導を持つ不揮発性溶媒として知られるイオン液体を、独自開発した赤外レーザ真空蒸着法と、濡れ制御技術によりナノ薄膜化する研究を行い、基礎的なイオン伝導物性を明らかにするとともに、ポリマーとの複合ナノ薄膜を用いたトランジスタなどを報告した。さらに、薄膜コンビナトリアル技術と放射光・機械学習を組み合わせたハイスループット実験にも取り組んでいる。
◎産学連携の可能性
現在、半導体装置メーカー1社と共同研究中。将来的には化学・材料メーカーなどと薄膜プロセスに関連する共同研究も可能。
◎代表的研究成果
S. Maruyama et al., ACS Nano. 12, 10509–10517 (2018).
H. Watanabe, S. Maruyama et al., ACS Appl. Nano Mater. 3, 9610-9615 (2020).
S. Maruyama et al., ACS Comb. Sci. 22, 348-355 (2020).
更新日:2021/10/29
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研究

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