教員プロフィール：塚本 貴城 准教授
教員プロフィール
◎研究キーワード
MEMS 振動子 慣性センサ 熱センサ 微細加工
◎研究内容
2つの軸が完全に等価な縮退振動子上には，無数の固有モードが存在する．この振動子に何らかの摂動が加わると，縮退が解け，ただ1組の固有モードに分離する．このような摂動の例としては，角速度やローレンツ力がある．よって，分離した2つのモードの情報から，加わった物理用を求めることができる．そこで，1つの振動子で，複数の縮退したモードを独立に制御するための，方式を開発し．これを用いて様々なセンサ（ジャイロスコープ，磁場センサ，真空圧力センサ）を開発している．また，振動子のパラメータ（周波数，Q値等）を微調整する方法を開発し，振動子の高性能化に関する研究を行っている
研究概要
◎産学連携の可能性
MEMS慣性センサ，周波数変調ジャイロスコープ，積分ジャイロスコープ，熱制御デバイス，熱計測デバイス
◎代表的研究成果
T. Tsukamoto and S. Tanaka, "Rate Integrating Gyroscope Using Independently Controlled CW and CCW Modes on Single Resonator,"Journal of Microelectromechanical Systems, 30, pp. 15-23, 2021.
T. Tsukamoto and S. Tanaka, "Fully Differential Single Resonator FM Gyroscope Using CW/CCW Mode Separator,"J. Microelectromech. Syst., 27, pp. 985-994, 2018.
更新日：2023/04/25
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