教員プロフィール:塚本 貴城 准教授

 

教員プロフィール

◎大学院工学研究科 ロボティクス専攻
Tsukamoto, Takashiro
◎研究キーワード
MEMS 振動子 慣性センサ 熱センサ 微細加工
◎研究内容
2つの軸が完全に等価な縮退振動子上には,無数の固有モードが存在する.この振動子に何らかの摂動が加わると,縮退が解け,ただ1組の固有モードに分離する.このような摂動の例としては,角速度やローレンツ力がある.よって,分離した2つのモードの情報から,加わった物理用を求めることができる.そこで,1つの振動子で,複数の縮退したモードを独立に制御するための,方式を開発し.これを用いて様々なセンサ(ジャイロスコープ,磁場センサ,真空圧力センサ)を開発している.また,振動子のパラメータ(周波数,Q値等)を微調整する方法を開発し,振動子の高性能化に関する研究を行っている
◎産学連携の可能性
現在MEMS慣性センサメーカ2社と共同研究中(+学術指導).過去には,2社の慣性センサメーカと共同研究を行った.
◎代表的研究成果
T. Tsukamoto and S. Tanaka, "Rate Integrating Gyroscope Using Independently Controlled CW and CCW Modes on Single Resonator,"Journal of Microelectromechanical Systems, 30, pp. 15-23, 2021.
T. Tsukamoto and S. Tanaka, "Fully Differential Single Resonator FM Gyroscope Using CW/CCW Mode Separator,"J. Microelectromech. Syst., 27, pp. 985-994, 2018.
更新日:2021/07/27
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