教員プロフィール：田中 秀治 教授
教員プロフィール
◎研究キーワード
MEMS 弾性波デバイス センサー 微細加工技術 マイクロナノデバイス
◎研究内容
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）は半導体微細加工技術に基づいて作製されるセンサやアクチュエータのことで，圧力センサ，加速度センサ，ジャイロセンサ，マイクロフォン，バンドパスフィルタ，インクジェットプリンタヘッド，プロジェクタ用イメージエンジン，赤外線センサなどとして広く使われている。LSIが機械の頭脳だとすると，MEMSは感覚器等にあたり，「人間」と「機械」とを繋ぐデバイスとも言える。
◎産学連携の可能性
電子部品，電子材料，半導体装置
◎代表的研究成果
圧電材料・デバイスの開発
ウェハレベルパッケージング技術と集積化技術の開発
Hetero Acoustic Layer (HAL) SAWデバイスの開発
更新日：2021/11/04
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